硬質氧化膜內層大于外層，即阻擋層大于帶有孔隙的氧化膜層，因氧化膜內有松孔，增加了減摩能力，可吸附各種潤滑劑，硬質氧化膜層導熱性很差，電阻系數較大，其熔點為2050℃，經封閉處理擊穿電壓可達2000V，在大氣中較高的抗蝕能力，具有很高的耐磨性，也是一種理想的隔熱膜層，也有良好的絕緣性，并具有與基體金屬結合得很牢固。硬質氧化膜最大厚度可達250微米左右，而在鋁合金上則可獲得400-600kg/mm2的顯微硬度氧化膜。在純鋁上能獲得1500kg/mm2的顯微硬度氧化膜。